N° 270 I jaNvIer-févrIer 2013 Un jour avec… | 37 UE hèq T o T ho p /CNRS N o SILL é FR . C : S o T © pho un jour nanotechnologie appartenant à de matériel du ’occupersa missionsavec… aussi l’institut Mais de 1esançon. bàMimento ,2tscentrale emto-lafalutsolandr Ingénieur nano nouveaux procédés etla veille sur les de l’utilisationéquipements. à de faire etcollègues ses matériel formerce Par esther Leburgue régulés avec précision.« Certaines pous- d’électrons. Une fois qu’elle aura été plon- sières sont plus grosses que ce sur quoi nous gée dans un révélateur, il ne restera plus, 8h30TesT réUssi! travaillons, souligne-t-il en montrant un au choix, que la partie exposée aux élec- Roland Salut a de l’or entre les mains. La machine qu’il est en minuscule point blanc. Elles pourraient trons ou bien l’autre. train de contrôler, livrée en août dernier à l’institut Femto-ST, nous gêner ! » Roland Salut va former vaut un million d’euros! Il s’agit d’un graveur ionique focalisé Alexandra Monnin, de l’institut Utinam3, 16h00PeaUFiner les réglages (Fib). À l’abri sous un plafond soufflant qui assure un environ- à l’utilisation du microscope électronique L’ingénieur retourne auprès du nouveau nement propre, cet instrument combine deux faisceaux à balayage (Meb). Cet appareil est capable Fib. Il lui reste plusieurs fonctions à opti- convergents. Le premier, composé d’électrons, est vertical. Il de fournir des images d’un matériau et miser sur la machine.« J’aimerais main- permet de réaliser des images en très haute résolution, à une d’en connaître les composants.« La ma- tenant non pas graver, mais réaliser des échelle inférieure au nanomètre. Le second faisceau, incliné, chine donne le résultat en deux minutes, dépôts de platine sur des galettes de subs- est constitué d’ions gallium. Il sert à graver la matière. commente Roland Salut.Mais avant, il trat, commente-t-il.Pour cela, un gaz est Contrairement à l’ancien Fib qui fonc- faut régler le faisceau d’électrons qui ba- injecté près de l’arrivée du faisceau d’ions. tionnait ensalle blanche, le nouveau pré- salle blanche. laie l’échantillon, puis faire plusieurs me- Ces ions vont casser les molécules du gaz, fère cette salle climatisée plus classique, Salle sous sures pour les comparer. » La formation permettant au platine qu’il contient de se « car ici, il n’est pas perturbé par les atmosphère terminée, sa collègue pourra se servir déposer. » Le succès de l’opération tient aucontrôlée, champs magnétiques et les vibrations », qui permet seule du Meb et se référer si besoin à la réglage très fin de plusieurs paramètres. précise Roland Salut. Ce matin, cet appa- d’éviter notice rédigée par Roland Salut. « Je vais devoir jouer à la fois sur la vitesse reil délicat réserve une bonne nouvelle : les perturbations du faisceau d’ions, sur leur quantité et sur « Hier, j’ai lancé un test d’automatisation. environnementales. 14h00aider le service oPTiqUe le nombre de passages du faisceau en Je lui ai demandé de répéter la gravure De retour de déjeuner, direction la salle de chaque point », détaille Roland Salut. d’un motif de 32 micromètres. Au bout du réunion. Roland Salut y retrouve Yanne Concentré sur son mur d’écrans, il s’attelle motif, il devait se repositionner à l’aide de Chembo, du département d’optique de à ce nouveau casse-tête. repères et recommencer. Il a enchaîné la Femto-ST. Ils discutent d’un projet de li- 1.La centrale Mimento est dédiée à la microfabrication séquence pendant cinq heures, sur 300 mi- thographie sur des « systèmes intelligents pour la mécanique, les nanosciences, la thermique et cromètres. » Un vrai progrès : avec le mo- intégrés dans la matière ». Aujourd’hui, il 2.Unité CNRS/Université de Franche-Comté/ENSMM/l’optique. dèle précédent, Roland Salut aurait dû est question d’un résonateur optique, des- UTBM. 3. Unité CNRS/Université de Franche-Comté. rester devant la machine. tiné« à démultiplier l’information véhicu- lée dans une fibre optique ». Cette fois, c’est 10h00Former lesUTilisaTeUrs la station de lithographie électronique Équipé d’une combinaison, de surchaus- gérée par Roland Salut qui va permettre de CoNtaCt : sures et de gants, il entre à présent dans la À voir sur le journal graver le motif désiré. Dans la machine, femto-st, besançon salle blanche de 400 m². Ici, température, du reportage suite une galette de silicium recouverte d’une > salut@femto-st.frtalusoland photola : ligne en hygrométrie et empoussièrement sont dans cet institut. résine polymère est soumise à un flux
jdc270
To see the actual publication please follow the link above